测量原理：通过色散选频光学系统建立聚焦距离与波长之间的对应关系，再利用光谱分析系统解码对应的光谱信息，从而获得相应的位置信息。

技术指标：

应用领域：手机芯片、玻璃镜头、晶圆/半导体、太阳能电池板等各领域薄膜及胶水厚度的检测。

技术亮点：高分辨率、高精度、高速在线测量。具有超强的抗干扰能力，对于各类表面状态的目标物，均可实现稳定测量，并且可同时测量并输出位移和厚度。