产品功能：主要检测透明或半透明的半导体材料表面膜层厚度、表面糙度以及波导结构。

系统架构及原理：本系统主要由光源、光纤、检测支架、光谱仪四部分组成，并辅以直流电源、光学透镜等组件运行，利用白光在穿透不同介质时产生光的折射及散射作用，利用光谱仪收集折射和散射后光的光谱，可分析出材料的膜层厚度、粗糙度等指标。

技术指标：

技术亮点：高速在线膜厚分析，只需几毫秒即可获得测量结果，拥有极高的分析准确度，并且可同时分析计算多层膜厚。